機 種 |
LRMS−200R.P |
測光波長範囲 |
380〜1050nm |
測定方法 |
比較測定:反射(R)、反射・透過測定(P) |
試料の曲率半径 |
反射測定±1R〜∞ |
試料の最小厚さ |
平面0.3mm(観察径Φ20μm) |
試料の測定範囲 |
反射測定:Φ20μm、Φ40μm(15×)ピンホール切り替え
透過測定:約Φ1.5mm |
試料の最小厚さ |
平面0.3mm(Φ20μm) |
反射再現性(3σ) 透過再現性(2σ) |
±0.02%(430〜1010nm)±0.2%(左記以外)
±0.2%(430〜900nm)±1%(左記以外) |
対物レンズ |
反射測定:反射対物レンズ15×(WD23.8mm)透過測定(P):反射対物レンズ無し |
対物レンズ切り替え方式 |
P:レボルバー式(反射測定⇔透過測定) |
表示分解能 |
1nm |
測定時間 |
数秒〜十数秒(ピンと合わせ時間は除く) |
膜厚測定 |
3層(反射のみ) |
光源 |
ハロゲンランプ(メーカー公称値2000H) |
ピント合わせ(標準) |
R.P:カメラ(デジタルフォーカス、オートフォーカス付) |
偏光測定試料の大きさ |
P:平面 □50mm厚さ5mm以下 |
ステージストローク |
R.P:X70mm×Y50mm×Z90mm(電動駆動) |
ステージ搭載重量 |
R.P:約3Kg以下 |
試料の大きさ |
(反射測定)約Φ150mm (透過測定)約□50mm |
本体大きさ(概算) |
ベース 450×450mm 高さ800mm以下 |
本体装置重量(概算) |
30Kg(機種により違いが有ります) |
入力電圧 |
100v〜240v 50/60Hz |
コンピュータ |
メーカー指定パソコン(オプション) 機種選定条件有 |
面頂合わせ |
R.P:モニター目視合せ、オプション:X.Y.Zオートフォーカス |
平面偏光測定 |
オプション |
高反射基準レファレンス |
オプション |
レンズ縁測定治具3種 |
オプション (1:Φ5〜Φ50mm、2:Φ5〜Φ90mm、3:Φ5〜Φ120mm) |
標準付属品 |
スペアーランプ 1、標準反射板(BK-7) 1、波長校正 1、
ヒューズ 1、ビニールカバー 1、収納箱 |
特注品も承ります。 お問い合わせいただきましたら販売店よりご連絡申し上げます。